ឧបករណ៍គឺជាផ្នែកមួយដ៏សំខាន់នៅក្នុងឧបករណ៍ម៉ាស៊ីន។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍វិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកវិទ្យា ឧបករណ៍នេះបានផ្លាស់ប្តូរពីឧបករណ៍លោហធាតុដើមទៅជាឧបករណ៍ស្រោបដែលប្រើជាទូទៅបំផុត។ការលាយបញ្ចូលគ្នា និងការស្រោបឡើងវិញនៃស៊ីម៉ងត៍ carbide និងឧបករណ៍ដែកល្បឿនលឿន គឺជាដំណើរការទូទៅនាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ។ថ្វីបើតម្លៃនៃការកែច្នៃឧបករណ៍ ឬកែច្នៃឡើងវិញគ្រាន់តែជាផ្នែកតូចមួយនៃតម្លៃផលិតឧបករណ៍ថ្មីក៏ដោយ វាអាចពន្យារអាយុឧបករណ៍ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។ដំណើរការកិនឡើងវិញគឺជាវិធីព្យាបាលធម្មតាសម្រាប់ឧបករណ៍ពិសេស ឬឧបករណ៍ថ្លៃៗ។ឧបករណ៍ដែលអាចកែច្នៃឬលាបឡើងវិញបានរួមមានឧបករណ៍ខួង ឧបករណ៍កាត់កិន ស្នប់ និងឧបករណ៍បង្កើត។
ឧបករណ៍ភ្ជាប់
នៅក្នុងដំណើរការនៃការខួង ឬម៉ាស៊ីនកាត់កិន ចាំបាច់ត្រូវកិនគែមកាត់ ដើម្បីយកស្រទាប់ដើមចេញ ដូច្នេះកង់កិនដែលប្រើត្រូវតែមានភាពរឹងគ្រប់គ្រាន់។ដំណើរការមុននៃគែមកាត់ដោយការកិនឡើងវិញមានសារៈសំខាន់ណាស់។វាមិនត្រឹមតែចាំបាច់ដើម្បីធានាថារូបរាងធរណីមាត្រនៃគែមកាត់ដើមអាចត្រូវបានរក្សាទុកទាំងស្រុង និងត្រឹមត្រូវបន្ទាប់ពីការកិនឧបករណ៍ឡើងវិញប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងតម្រូវឱ្យឧបករណ៍ដែលស្រោបដោយ PVD ត្រូវតែ "មានសុវត្ថិភាព" សម្រាប់ការកិនឡើងវិញ។ដូច្នេះ វាចាំបាច់ក្នុងការជៀសវាងដំណើរការកិនដែលមិនសមហេតុផល (ដូចជាការកិនរដុប ឬការកិនស្ងួត ដែលផ្ទៃរបស់ឧបករណ៍ខូចដោយសារសីតុណ្ហភាពខ្ពស់)។
ការយកចេញនៃថ្នាំកូត
មុនពេលឧបករណ៍ត្រូវបាន coated ថ្នាំកូតដើមទាំងអស់អាចត្រូវបានយកចេញដោយវិធីសាស្រ្តគីមី។វិធីសាស្ត្រដកចេញដោយគីមីច្រើនតែត្រូវបានប្រើសម្រាប់ឧបករណ៍ស្មុគ្រស្មាញ (ដូចជាប្រហោង និងដង្កៀប) ឬឧបករណ៍ដែលមានការស្រោបច្រើនមុខ និងឧបករណ៍ដែលមានបញ្ហាបណ្ដាលមកពីភាពក្រាស់នៃថ្នាំកូត។វិធីសាស្រ្តនៃការដកយកចេញគីមីនៃថ្នាំកូតជាធម្មតាត្រូវបានកំណត់ចំពោះឧបករណ៍ដែកដែលមានល្បឿនលឿនពីព្រោះវិធីសាស្ត្រនេះនឹងធ្វើឱ្យខូចស្រទាប់ខាងក្រោមកាបូនស៊ីម៉ងត៍៖ វិធីសាស្ត្រដកយកចេញនូវសារធាតុគីមីនឹងច្រោះ cobalt ពីស្រទាប់ខាងក្រោម carbide ស៊ីម៉ងត៍ ដែលបណ្តាលឱ្យមានរន្ធញើសនៃផ្ទៃ។ ស្រទាប់ខាងក្រោម ការបង្កើតរន្ធញើស និងការលំបាកក្នុងការលាបឡើងវិញ។
"វិធីសាស្ត្រដកចេញដោយគីមីត្រូវបានគេពេញចិត្តសម្រាប់ការយកចេញនូវការច្រេះនៃថ្នាំកូតរឹងលើដែកដែលមានល្បឿនលឿន។"ដោយសារតែម៉ាទ្រីសស៊ីម៉ងត៍ carbide មានសមាសធាតុគីមីស្រដៀងទៅនឹងសារធាតុដែលមាននៅក្នុងថ្នាំកូត សារធាតុរំលាយគីមីងាយនឹងបំផ្លាញម៉ាទ្រីសស៊ីម៉ងត៍ carbide ជាងម៉ាទ្រីសដែកដែលមានល្បឿនលឿន។
លើសពីនេះទៀតមានវិធីសាស្រ្តគីមីប៉ាតង់មួយចំនួនដែលសមរម្យសម្រាប់ការយកចេញថ្នាំកូត PVD ។នៅក្នុងវិធីសាស្រ្តគីមីទាំងនេះ មានប្រតិកម្មគីមីតិចតួចប៉ុណ្ណោះរវាងដំណោះស្រាយការយកចេញនៃថ្នាំកូត និងម៉ាទ្រីសស៊ីម៉ងត៍ carbide ប៉ុន្តែវិធីសាស្រ្តទាំងនេះមិនត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយទេនាពេលបច្ចុប្បន្ន។លើសពីនេះទៀត មានវិធីសាស្រ្តផ្សេងទៀតសម្រាប់ការលាងសម្អាតថ្នាំកូត ដូចជាការកែច្នៃឡាស៊ែរ ការបំផ្ទុះសំណឹកជាដើម។ វិធីសាស្ត្រដកយកចេញដោយសារធាតុគីមី គឺជាវិធីសាស្ត្រសាមញ្ញបំផុត ព្រោះវាអាចផ្តល់នូវឯកសណ្ឋានល្អនៃការដកថ្នាំកូតលើផ្ទៃ។
នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ដំណើរការលាបឡើងវិញធម្មតាគឺដើម្បីយកថ្នាំកូតដើមរបស់ឧបករណ៍ចេញតាមរយៈដំណើរការកែច្នៃឡើងវិញ។
សេដ្ឋកិច្ចនៃការលាបឡើងវិញ
ថ្នាំកូតឧបករណ៍ទូទៅបំផុតគឺ TiN, TiC និង TiAlN ។ថ្នាំកូតអាសូត/កាបូនអ៊ីដ្រាតខ្ពស់ផ្សេងទៀតក៏ត្រូវបានអនុវត្តផងដែរ ប៉ុន្តែមិនជារឿងធម្មតាទេ។ឧបករណ៍ដែលស្រោបដោយពេជ្រ PVD ក៏អាចលាបពណ៌បានផងដែរ។ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការថ្នាំកូតឡើងវិញ ឧបករណ៍ត្រូវ "ការពារ" ដើម្បីជៀសវាងការខូចខាតលើផ្ទៃសំខាន់ៗ។
ជារឿយៗនេះជាករណី៖ បន្ទាប់ពីទិញឧបករណ៍ដែលមិនស្រោប អ្នកប្រើប្រាស់អាចស្រោបវានៅពេលដែលពួកគេត្រូវការលាបលើដី ឬលាបពណ៌ផ្សេងគ្នាលើឧបករណ៍ថ្មី ឬឧបករណ៍កែច្នៃឡើងវិញ។
ដែនកំណត់នៃការលាបឡើងវិញ
ដូចជាឧបករណ៍មួយអាចដាក់ច្រាសបានច្រើនដង គែមកាត់របស់ឧបករណ៍ក៏អាចត្រូវបានស្រោបច្រើនដងដែរ។គន្លឹះក្នុងការធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការឧបករណ៍គឺដើម្បីទទួលបានថ្នាំកូតដែលមានភាពស្អិតល្អលើផ្ទៃនៃឧបករណ៍ដែលបានធ្វើឡើងវិញ។
លើកលែងតែគែមកាត់ ផ្ទៃឧបករណ៍ដែលនៅសេសសល់ប្រហែលជាមិនចាំបាច់ស្រោប ឬស្រោបកំឡុងពេលកិនឧបករណ៍នីមួយៗទេ អាស្រ័យលើប្រភេទឧបករណ៍ និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រកាត់ដែលប្រើក្នុងម៉ាស៊ីន។Hobs និង broaches គឺជាឧបករណ៍ដែលត្រូវការយកថ្នាំកូតដើមទាំងអស់ចេញនៅពេល recoating បើមិនដូច្នេះទេដំណើរការឧបករណ៍នឹងត្រូវបានកាត់បន្ថយ។មុនពេលបញ្ហានៃការស្អិតដែលបណ្តាលមកពីភាពតានតឹងក្លាយជាលេចធ្លោ ឧបករណ៍អាចត្រូវបានលាបឡើងវិញពីរបីដងដោយមិនយកថ្នាំកូតចាស់ចេញ។ទោះបីជាថ្នាំកូត PVD មានភាពតានតឹងបង្ហាប់សំណល់ដែលមានប្រយោជន៍ដល់ការកាត់ដែកក៏ដោយ សម្ពាធនេះនឹងកើនឡើងជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃកម្រាស់ថ្នាំកូត ហើយថ្នាំកូតនឹងចាប់ផ្តើម delaminate បន្ទាប់ពីលើសពីដែនកំណត់ដែលបានកំណត់។នៅពេលដែល recoating ដោយមិនយកថ្នាំកូតចាស់ចេញ កម្រាស់មួយត្រូវបានបន្ថែមទៅអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅនៃឧបករណ៍។សម្រាប់រន្ធខួងវាមានន័យថាអង្កត់ផ្ចិតរន្ធកាន់តែធំ។ដូច្នេះវាចាំបាច់ក្នុងការពិចារណាពីឥទ្ធិពលនៃកម្រាស់បន្ថែមនៃថ្នាំកូតនៅលើអង្កត់ផ្ចិតខាងក្រៅនៃឧបករណ៍ក៏ដូចជាឥទ្ធិពលរបស់ទាំងពីរលើការអត់ធ្មត់វិមាត្រនៃអង្កត់ផ្ចិតរន្ធម៉ាស៊ីន។
ដុំខួងអាចស្រោបពី 5 ទៅ 10 ដងដោយមិនយកថ្នាំកូតចាស់ចេញ ប៉ុន្តែបន្ទាប់ពីនោះវានឹងប្រឈមមុខនឹងបញ្ហាធ្ងន់ធ្ងរ។លោក Dennis Klein អនុប្រធាននៃ Spec Tools ជឿថាកម្រាស់នៃថ្នាំកូតនឹងមិនមានបញ្ហានៅក្នុងជួរកំហុសនៃ ± 1 µ m;ទោះយ៉ាងណាក៏ដោយនៅពេលដែលកំហុសស្ថិតនៅក្នុងចន្លោះពី 0.5 ~ 0.1 µ m ឥទ្ធិពលនៃកម្រាស់ថ្នាំកូតត្រូវតែយកមកពិចារណា។ដរាបណាកម្រាស់នៃថ្នាំកូតមិនក្លាយជាបញ្ហា ឧបករណ៍ដែលស្រោបឡើងវិញ និងជាន់ក្រោមអាចមានដំណើរការល្អជាងឧបករណ៍ដើម។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កុម្ភៈ-២៤-២០២៣